更新時間：2025-01-23
| 產地 | 進口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 質保 | 1年 |
日本KOFLOC 5400系列質量流量控制器：
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環境下
±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用
日本KOFLOC 5400系列質量流量控制器
性能參數：
電器連接：
★使用注意
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
警告
流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度等）是N2或空氣轉換中的規格。
有關MFC規格，請單獨查詢。
接線連接
Dsub 9針KFC標準引腳排列
日本KOFLOC 5400系列質量流量控制器
尺寸圖：
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