日本KOFLOC 5410系列質(zhì)量流量計(jì)-金屬密封

概述：

金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下

±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號(hào)更加通用

日本KOFLOC 5410系列質(zhì)量流量計(jì)-金屬密封

特點(diǎn)：

• 提高每個(gè)流量范圍的精度
• 適用于微流量（選項(xiàng)規(guī)格）
• 由于無(wú)焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
• 價(jià)格便宜

 性能參數(shù)：

電器連接：

 使用注意事項(xiàng)：

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上。

三：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。